Elipsometría

Fundamento

Se mide el cambio de estado de polarización de la luz reflejada; el ajuste a un modelo óptico da espesor e índice de refracción de la capa.

Matriz (en qué muestra)

Films, obleas, recubrimientos ópticos

Equipamiento necesario¿Dónde lo compro?

Elipsómetro espectroscópico.

Reactivos¿Dónde lo compro?

Ninguno.

Material de laboratorio¿Dónde lo compro?

Muestra plana y reflectante; portamuestras.

Unidad

m · nm

Rango de referencia

1 nm – varios µm

Norma que lo exige

No corresponde: es una técnica instrumental de uso general. La obligación surge de la norma del producto, del ensayo o de la instalación sobre la que se aplica

Norma que describe la técnica

Por confirmar

Edición y vigencia de la norma

La ficha todavía no tiene identificada la norma aplicable: depende del material, del producto o de la jurisdicción. Antes de encargar el ensayo conviene acordar con el laboratorio contra qué norma se va a informar, porque de eso dependen los límites de aceptación.

Volumen de muestra

Una oblea o un sustrato plano con la capa depositada, de 1 cm² como mínimo

Conservación y transporte

Portamuestras en caja limpia, en desecador o en atmósfera inerte. La superficie tiene que estar libre de polvo y de huellas: la elipsometría mide justamente la superficie.

Límite de detección típico

0,1 nm de espesor de capa

Incertidumbre típica

±1 a 2% del espesor; depende del modelo óptico que se elija para ajustar

Área

Materiales/industrial; Electrotecnia

Fecha de última actualización: 3/9/2026

Ficha N.º 180 · ¿Ves algo para corregir? Escribinos