Corte y observación en sección transversal por haz de iones focalizado (FIB-SEM)

Fundamento

Un haz de iones de galio acelerados pulveriza el material con precisión nanométrica y abre una trinchera en el punto elegido, previamente protegido con una capa de platino depositada in situ para que el propio haz no dañe la superficie de interés. La cara expuesta se observa con el haz de electrones del mismo instrumento, que da la imagen del corte con su análisis elemental. Cortando en serie se puede reconstruir el volumen en tres dimensiones.

Matriz (en qué muestra)

Multicapas; recubrimientos; dispositivos; interfaces

Equipamiento necesario¿Dónde lo compro?

Microscopio de doble haz FIB-SEM con inyector de gas para depósito de platino; micromanipulador para extraer láminas; detector EDS.

Reactivos¿Dónde lo compro?

Precursor de platino o de carbono para el depósito protector; gases del sistema.

Material de laboratorio¿Dónde lo compro?

Portamuestras; cinta de carbono; rejillas de TEM si se extrae lámina.

Consumibles¿Dónde lo compro?

Fuente de galio; precursores de depósito.

Unidad

nm · nm de espesor por capa · % de porosidad en la sección

Rango de referencia

Resuelve capas desde unos 5 nm y abre trincheras de decenas de micrones de profundidad

Norma que lo exige

No hay todavía una norma argentina específica para nanomateriales: la obligación surge de la norma del producto que los contiene. La referencia metodológica es la serie ISO/TC 229 de nanotecnologíasnorma internacional

Norma que describe la técnica

ISO/TS 24597 (caracterización de nanoestructuras por microscopía de haz de iones); ISO 16700 para calibración de aumentos en SEMnorma internacional

Edición y vigencia de la norma

ISO/TS 24597:2011, vigente

Volumen de muestra

Una pieza pequeña que entre en la cámara, del orden de 1 cm²; la técnica es destructiva en el punto analizado

Conservación y transporte

El depósito de platino sobre la zona de interés no es opcional: sin él, el haz de iones redondea el borde superior y el espesor de la primera capa sale mal, que es justo la que suele importar. La muestra tiene que ser conductora o metalizarse, y para materiales blandos conviene trabajar a corriente baja, porque el haz de galio los funde. Se documenta el ángulo de inclinación, sin el cual las medidas del corte no se pueden corregir.

Límite de detección típico

2 a 5 nm de espesor de capa

Incertidumbre típica

±5%; hay que corregir por el ángulo de observación, que es la fuente de error más común

Área

Nanotecnología; Materiales/industrial; Metrología y calibración

Fecha de última actualización: 8/9/2026