Espectroscopía de electrones Auger (AES) con perfilado en profundidad

Fundamento

Un haz de electrones finamente enfocado arranca un electrón interno del átomo; al llenarse ese hueco, la energía liberada puede expulsar otro electrón, el Auger, cuya energía cinética es característica del elemento. Como solo escapan los de los primeros nanómetros, la técnica es superficial. Alternando análisis con decapado por iones de argón se obtiene el perfil de composición en profundidad, capa por capa.

Analito (qué se mide)

Composición elemental de las primeras capas atómicas

Matriz (en qué muestra)

Superficies metálicas y semiconductoras; partículas; interfaces

Equipamiento necesario¿Dónde lo compro?

Espectrómetro Auger con cañón de electrones de emisión de campo; sistema de ultra alto vacío; cañón de argón para decapado; neutralizador de carga.

Reactivos¿Dónde lo compro?

Argón de alta pureza; patrones de referencia de cobre, plata y oro para calibrar la escala de energía.

Material de laboratorio¿Dónde lo compro?

Portamuestras; cintas conductoras; pinzas limpias.

Consumibles¿Dónde lo compro?

Gas argón; filamentos del cañón.

Unidad

% atómico · nm de profundidad de perfil · eV de energía cinética

Rango de referencia

Resolución lateral de 10 a 50 nm y profundidad de análisis de 1 a 5 nm, con perfiles de hasta un micrón por decapado

Norma que lo exige

No hay todavía una norma argentina específica para nanomateriales: la obligación surge de la norma del producto que los contiene. La referencia metodológica es la serie ISO/TC 229 de nanotecnologíasnorma internacional

Norma que describe la técnica

ISO 18516 (resolución lateral) e ISO 17974 (perfilado en profundidad por AES); ISO 21270; ASTM E984norma internacional

Edición y vigencia de la norma

ISO 17974:2002 e ISO 18516:2019, vigentes

Volumen de muestra

Una pieza conductora que entre en el portamuestras, del orden de 1 cm²

Conservación y transporte

La técnica solo funciona sobre materiales conductores: un aislante se carga bajo el haz de electrones y el espectro se corre o desaparece. La muestra no se toca con los dedos ni se guarda en plástico común, porque el análisis ve los primeros nanómetros y cualquier contaminante orgánico es lo que se termina midiendo. Se transporta en recipiente limpio y se analiza pronto: el aire oxida la superficie en horas.

Límite de detección típico

0,1 a 1% atómico; no detecta hidrógeno ni helio

Incertidumbre típica

±10 a 20% relativo sin patrones propios de la misma matriz

Área

Nanotecnología; Materiales/industrial; Metalurgia

Fecha de última actualización: 8/9/2026